三清儀器獨(dú)立雙芯雙倉 MOL-2DS 百級(jí) ISO Class 5 標(biāo)準(zhǔn)潔凈烤箱

產(chǎn)品定位與核心特點(diǎn)

MOL-2DS 是蘇州三清儀器專為半導(dǎo)體、顯示面板、精密電子等高端制造領(lǐng)域設(shè)計(jì)的雙腔體百級(jí)潔凈烘箱,采用獨(dú)特的 "雙芯雙倉" 獨(dú)立控制系統(tǒng),可同時(shí)處理兩種不同工藝需求的材料,大幅提升生產(chǎn)效率與設(shè)備利用率。

核心特點(diǎn):

雙芯雙倉獨(dú)立控制:上下兩個(gè)腔體各自配備獨(dú)立的加熱、控溫、送風(fēng)系統(tǒng),可同時(shí)運(yùn)行不同溫度、不同工藝的烘烤任務(wù),互不干擾

百級(jí)潔凈環(huán)境:達(dá)到 ISO Class 5 (美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) Class 100) 潔凈等級(jí),每立方米空氣中≥0.5μm 顆粒數(shù)≤3,520 個(gè),確保精密產(chǎn)品不受污染

高效過濾系統(tǒng):采用耐高溫 H13 級(jí) HEPA 過濾器,過濾效率達(dá) 99.997%,持續(xù)提供無塵環(huán)境

防氧化保護(hù):可選配氮?dú)獬淙胂到y(tǒng),控制箱內(nèi)氧含量低至 10ppm 以下,特別適合易氧化材料的烘烤

獨(dú)立雙芯雙倉技術(shù)詳解

雙倉結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

上下兩個(gè)完全獨(dú)立的腔體,各自擁有獨(dú)立的加熱元件、風(fēng)機(jī)、過濾器和控制系統(tǒng)

中間采用隔熱密封層完全隔離,避免兩倉間熱量傳導(dǎo)和氣體交叉污染

每個(gè)腔體均配備獨(dú)立的進(jìn)氣 / 排氣口,可單獨(dú)控制氣體流量和換氣次數(shù)

雙芯控制系統(tǒng)

搭載兩套獨(dú)立的PLC 智能控制系統(tǒng),可分別設(shè)置不同的溫度曲線和工藝參數(shù)

每個(gè)腔體可獨(dú)立編程18 段溫度曲線,滿足復(fù)雜工藝需求

具備PID 自整定功能,確保溫度控制精確穩(wěn)定

配置7 英寸彩色觸摸屏,可實(shí)時(shí)監(jiān)控各倉溫度、運(yùn)行狀態(tài)和報(bào)警信息

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

生產(chǎn)效率倍增:一次可處理兩種不同產(chǎn)品,產(chǎn)能相當(dāng)于兩臺(tái)單倉烤箱,節(jié)省 50% 空間和能耗

工藝靈活性:滿足不同客戶、不同批次產(chǎn)品的差異化工藝需求,減少設(shè)備投資

可靠性提升:一套系統(tǒng)故障不影響另一套正常運(yùn)行,關(guān)鍵部件采用冗余設(shè)計(jì)

節(jié)能降耗:根據(jù)生產(chǎn)需求可單獨(dú)使用一個(gè)腔體,降低能耗

與普通工業(yè)烤箱對(duì)比

潔凈度:普通烤箱無過濾系統(tǒng),顆粒污染嚴(yán)重,不適合半導(dǎo)體等精密制造

溫度控制:MOL-2DS 控溫精度達(dá) ±0.5℃,均勻性≤±3℃,普通烤箱通常為 ±2℃和 ±5℃以上

防氧化:MOL-2DS 可選配氮?dú)獗Wo(hù),氧含量可控制在 10ppm 以下,普通烤箱無此功能

密封性:MOL-2DS 采用硅橡膠耐高溫密封,氣密性好,普通烤箱密封性能差

選型建議

選擇 MOL-2DS 的情況:

同時(shí)生產(chǎn)多種不同工藝要求的產(chǎn)品

場(chǎng)地空間有限但產(chǎn)能需求高

對(duì)潔凈度和溫度均勻性要求極高

需要防止產(chǎn)品氧化,如半導(dǎo)體、高端電子元件生產(chǎn)

根據(jù)工藝需求選擇配置:

標(biāo)準(zhǔn)型:室溫~250℃,普通百級(jí)潔凈需求

高溫型:室溫~300℃/400℃,適用于特殊材料固化

氮?dú)庑停涸黾拥獨(dú)獬淙胂到y(tǒng),氧含量可控制在 10ppm 以下,適合易氧化材料

總結(jié)

三清儀器 MOL-2DS 獨(dú)立雙芯雙倉百級(jí) ISO Class 5 標(biāo)準(zhǔn)無塵潔凈烤箱是一款專為高端制造業(yè)設(shè)計(jì)的精密烘烤設(shè)備,憑借雙芯雙倉獨(dú)立控制和百級(jí)潔凈環(huán)境兩大核心優(yōu)勢(shì),為半導(dǎo)體、顯示面板、光學(xué)元件等行業(yè)提供了高效、可靠、靈活的烘烤解決方案。

與傳統(tǒng)單倉烘箱相比,MOL-2DS 不僅提升了生產(chǎn)效率和空間利用率,更通過獨(dú)立控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了多種工藝并行處理,是現(xiàn)代精密制造領(lǐng)域提升產(chǎn)能、降低成本的理想選擇。